COVID-19 전염병이 계속되고 통신 장비에서 소비자 전자 제품, 자동차에 이르기까지 다양한 분야에서 칩에 대한 수요가 계속 증가함에 따라 전 세계적으로 칩 부족이 심화되고 있습니다.
칩은 정보 기술 산업의 중요한 기본 부분이지만 전체 첨단 기술 분야에 영향을 미치는 핵심 산업입니다.
단일 칩을 만드는 것은 수천 단계를 포함하는 복잡한 프로세스이며, 프로세스의 각 단계는 극한의 온도, 고도로 침습적인 화학 물질에 대한 노출, 극도의 청정도 요구 사항을 포함하여 어려움을 안고 있습니다.플라스틱은 반도체 제조공정에서 중요한 역할을 하며, 대전방지 플라스틱, PP, ABS, PC, PPS, 불소재료, PEEK 등의 플라스틱이 반도체 제조공정에 널리 사용됩니다.오늘 우리는 PEEK가 반도체에서 사용하는 몇 가지 응용 프로그램을 살펴볼 것입니다.
CMP(Chemical Mechanical Grinding)는 반도체 제조 공정의 중요한 단계로 엄격한 공정 관리, 엄격한 표면 형상 및 고품질 표면 규제가 요구됩니다.소형화의 발전 추세는 공정 성능에 대한 더 높은 요구 사항을 제시하므로 CMP 고정 링의 성능 요구 사항은 점점 더 높아지고 있습니다.
CMP 링은 연삭 공정 중에 웨이퍼를 제자리에 고정하는 데 사용됩니다.선택한 재료는 웨이퍼 표면의 긁힘과 오염을 방지해야 합니다.일반적으로 표준 PPS로 만들어집니다.
PEEK는 높은 치수 안정성, 가공 용이성, 우수한 기계적 특성, 내화학성 및 우수한 내마모성을 특징으로 합니다.PEEK로 만든 THE CMP 고정 링은 PPS 링에 비해 내마모성이 우수하고 수명이 두 배로 길어 가동 중지 시간을 줄이고 웨이퍼 생산성을 향상시킵니다.
웨이퍼 제조는 전면 개방형 웨이퍼 이송 상자(FOUP) 및 웨이퍼 바스켓과 같은 웨이퍼를 보호, 운송 및 저장하기 위해 차량을 사용해야 하는 복잡하고 까다로운 프로세스입니다.반도체 캐리어는 일반 전송 공정과 산 및 염기 공정으로 나뉩니다.가열 및 냉각 공정 및 화학 처리 공정 중 온도 변화는 웨이퍼 캐리어의 크기 변화를 일으켜 칩 긁힘이나 크랙을 유발할 수 있습니다.
PEEK는 일반 전송 프로세스용 차량을 만드는 데 사용할 수 있습니다.정전기 방지 PEEK(PEEK ESD)가 일반적으로 사용됩니다.PEEK ESD는 내마모성, 내화학성, 치수안정성, 대전방지성, 낮은 탈기 등의 많은 우수한 특성을 가지고 있어 입자 오염을 방지하고 웨이퍼 취급, 보관 및 이송의 신뢰성을 향상시킵니다.FOUP(Front Open Wafer Transfer Box) 및 꽃바구니의 성능 안정성을 향상시킵니다.
홀리스틱 마스크 박스
그래픽 마스크에 사용되는 리소그래피 공정은 깨끗하게 유지되어야 하고 프로젝션 이미징 품질 저하의 먼지나 흠집이 있으면 빛을 가려야 하므로 마스크는 제조, 가공, 배송, 운송, 보관 과정에서 모두 마스크의 오염을 방지해야 합니다. 충돌 및 마찰 마스크 청결로 인한 입자 충격.반도체 산업이 극자외선(EUV) 차광 기술을 도입하기 시작하면서 EUV 마스크에 결함이 없도록 해야 하는 요구 사항이 그 어느 때보다 높아졌습니다.
PEEK ESD 방전은 높은 경도, 작은 입자, 높은 청정도, 정전기 방지, 내화학성, 내마모성, 내가수분해성, 우수한 유전 강도 및 우수한 내방사선 성능 특성으로 생산, 전송 및 가공 과정에서 마스크를 만들 수 있습니다. 환경의 낮은 탈기 및 낮은 이온 오염에 저장된 마스크 시트.
칩 테스트
PEEK는 우수한 고온 저항성, 치수 안정성, 낮은 가스 방출, 낮은 입자 배출, 화학적 부식 저항성 및 쉬운 가공을 특징으로 하며 고온 매트릭스 플레이트, 테스트 슬롯, 연성 회로 기판, 예비 소성 테스트 탱크를 포함한 칩 테스트에 사용할 수 있습니다. , 커넥터.
또한 에너지 절약, 배출 감소 및 플라스틱 오염 감소에 대한 환경 인식이 높아짐에 따라 반도체 산업은 녹색 제조를 옹호하며 특히 칩 시장 수요가 강하고 칩 생산에 필요한 웨이퍼 상자 및 기타 구성 요소 수요는 거대합니다. 영향을 과소평가할 수 없습니다.
따라서 반도체 산업은 자원 낭비를 줄이기 위해 웨이퍼 상자를 청소하고 재활용합니다.
PEEK는 반복 가열 후에도 성능 손실이 최소화되며 100% 재활용이 가능합니다.
게시 시간: 19-10-21